等離子清洗機分類

文章出處：等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間：2022-05-07

等離子清洗機分類形式有很多種，不過等離子清洗機的主要原理都是利用清洗時高能電子碰撞反應(yīng)氣體分子，使之離解或電離，利用產(chǎn)生的多種粒子轟擊被清洗表面或與清洗表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而有效地清除各種污染物。下面就讓我們一起來簡單了解下等離子清洗機的分類吧。

按照等離子體的產(chǎn)生環(huán)境分類

一般我們來說按照等離子體產(chǎn)生的環(huán)境可以分為真空等離子清洗機，和常壓等離子清洗機兩大類，這也是市面上比較常見的分法。真空等離子清洗機與常壓等離子清洗機一般情況，氣體放電產(chǎn)生等離子體，只能在很低的壓強甚至是真空中產(chǎn)生并穩(wěn)定存在，因此低壓等離子體必須要具備抽真空的設(shè)備。真空等離子清洗機的優(yōu)勢有以下方面，所需要的擊穿電壓低；狀態(tài)穩(wěn)定；電子溫度為中性溫度；離子濃度和自由基濃度相對較髙，有效的與物體發(fā)生聚合或刻蝕反應(yīng)；氣體量增大的條件下也能產(chǎn)生穩(wěn)定的輝光放電。但真空等離子清洗機存在著以下一些缺點：真空設(shè)備造價很貴，維護成本高。在生產(chǎn)過程中要頻繁的進行抽真空，而且腔室受限制，不能進行在線連續(xù)處理，這些都為等離子體技術(shù)在更多的領(lǐng)域及相關(guān)產(chǎn)業(yè)應(yīng)用帶來限制。常壓等離子清洗機彌補了真空等離子清洗機的不足。無需真空操作，可以很方便的整合到已有的產(chǎn)線上對材料進行在線處理。

在線式等離子清洗機與離線式等離子清洗機

按照是否在線又可以分為批量離線式等離子清洗機，和在線式等離子清洗機。隨著等離子清洗技術(shù)的大量運用，不同行業(yè)對等離子清洗機的需求程度不一樣，促使以前離線式的真空等離子清洗機不在能滿足企業(yè)的生產(chǎn)需求，因此在線式真空等離子清洗機便應(yīng)用而生。

批量式等離子清洗機的主要結(jié)構(gòu)包括:反應(yīng)倉、殼體、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電源以及真空系統(tǒng)等。在線式等離子清洗機的主要結(jié)構(gòu)包括:上下料推料機構(gòu)、上下料置取料平臺、上下料提升系統(tǒng)、上下料傳輸系統(tǒng)、上下料撥料機構(gòu)、反應(yīng)倉、設(shè)備主體框架和電氣控制系統(tǒng)等。在線式等離子清洗機是在批量式等離子清洗機的基礎(chǔ)上為了盡量減少生產(chǎn)工藝中的人工參與而設(shè)計的一種設(shè)備，主要針對集成電路IC封裝工藝中引線鍵合前進行引線框架芯片、基板的等離子清洗，徹底去除其表面的氧化物、微顆粒污染物，達到改善材料表面性質(zhì)，提高引線鍵合強度，降低焊不上、虛焊的可能性。

除了真空等離子清洗機有在線和離線之分，常壓等離子清洗機也有在線離線的說法，其實都只是在等離子清洗機的基礎(chǔ)上增加了自動化的功能。

按照等離子體的激發(fā)頻率分類

等離子清洗機根據(jù)等離子體激發(fā)頻率的不同又可以分為，中頻等離子清洗機，射頻等離子清洗機，微波等離子清洗機。常見的產(chǎn)生等離子的方式分為三種:(1)中頻等離子體;(2)射頻等離子體;(3)微波等離子體。這是根據(jù)產(chǎn)生等離子體的發(fā)生頻率來分，中頻等離子體為40kHz，射頻等離子體為13．56MHz，微波等離子體為2．45GHz。這其中中頻等離子體和射頻等離子體為電場產(chǎn)生等離子的方式，微波等離子體為磁場產(chǎn)生等離子體的方式。激發(fā)頻率40kHz的等離子體為超聲等離子，發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng)，清洗系統(tǒng)離子密度較低；13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有物理反應(yīng)又有化學(xué)反應(yīng)，離子密度和能量較高；2.45GHz的等離子體為微波等離子體，離子濃度最高，反應(yīng)為化學(xué)反應(yīng)。

另外還有一些其他的等離子清洗機分類，例如常壓等離子清洗機，又可以分為直噴等離子清洗機，旋噴等離子清洗機，還有寬幅等離子清洗機。真空等離子清洗機又可以分為，真空卷對卷等離子清洗機，真空滾筒等離子清洗機等，這都是按照等離子清洗機的不同應(yīng)用來進行分類的，還可以按照腔體的材質(zhì)不同分為，不銹鋼腔體等離子清洗機，鋁腔體等離子清洗機，石英玻璃等離子清洗機等等。

其他分類方法

等離子清洗機之所以有這么多分類，是等離子清洗機廠家針對不同的用戶需求，設(shè)計制造了許多種不同結(jié)構(gòu)類型、不同電源頻率的等離子清洗機。各有所長，也就各有所短。選用等離子清洗設(shè)備前要搞清楚待清洗工件特征，要清除掉的沾污物是什么，待清洗工件在清洗過程中應(yīng)避免什么，是高溫、晶格損傷、靜電損傷還是二次污染等，通過試驗結(jié)果確認(rèn)、選購滿足不同工件對等離子清洗不同要求的設(shè)備。