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低溫等離子體概述


低溫等離子體也稱非平衡態(tài)等離子體,一般是指電子、離子、中性粒子的溫度Te,Ti,Tn,滿足Te>>Ti且Te>>Tn。之所以稱為低溫等離子體,主要是質(zhì)量大的離子和作為等離子體本體的中性粒子一般都處在室溫,它整體對外表現(xiàn)出很低的溫度;而又被稱為非平衡態(tài)等離子體,主要是電子的溫度可以達(dá)到幾個eV(幾萬度),與離子、中性粒子沒有達(dá)到熱平衡。

一般在低氣壓下,通過氣體放電就可以產(chǎn)生低溫等離子體。對氣體施加電壓,一些游離的電子在外電場的作用下開始加速,高速的電子會與氣體的原子或分子發(fā)生碰撞。如果電子的能量沒有達(dá)到原子的最低電離能,電子就會跟原子發(fā)生彈性碰撞,由于電子的質(zhì)量遠(yuǎn)小于原子的質(zhì)量,在彈性碰撞中電子幾乎不失去能量,而接著被電場加速。當(dāng)電子的能量達(dá)到原子的最低電離能時,就會發(fā)生非彈性碰撞,原子吸收電子的能量而發(fā)生電離,除了發(fā)生電離外,還會有激發(fā)躍遷、退激輻射,產(chǎn)生大量的光子和處于亞穩(wěn)態(tài)的原子;如果氣體含有分子和化合物,由于低溫等離子體的碰撞不是很劇烈,會有游離態(tài)的未成對的原子和中性基團(tuán)產(chǎn)生,它們都具有很高的化學(xué)活性。

低溫等離子體兩面性的表現(xiàn)就是除了具有經(jīng)典的物理特性外,還具有化學(xué)活性。其實它的化學(xué)活性是由其微觀結(jié)構(gòu)中的非彈性碰撞來決定的,說到底還是原子物理的成分,包括分子、原子的激發(fā)、電離和離解,但是它化學(xué)活性的核心就是這些非彈性碰撞的生成物-活性基團(tuán)(高能電子,亞穩(wěn)態(tài)原子,中性基團(tuán),光子),這些活性基團(tuán)極其不穩(wěn)定,很容易重新組合成新物質(zhì)。

氧等離子體為例,氧分子在電子的非彈性碰撞下會產(chǎn)生電離、激發(fā)和離解,會有氧離子O2+,激發(fā)態(tài)的氧分子O2*,游離態(tài)的氧原子O生成,這個基團(tuán)都是具有很強(qiáng)的化學(xué)活性的基團(tuán)。

電離:e+O2→O2++2e
激發(fā):e+O2→O2*+e
離解:e+O2→O+O+e

而且電離的發(fā)生會有很多帶電基團(tuán)生成如電子e和離子O2+,它們在電場的作用下會加速,高速的電子和離子會與材料表面發(fā)生碰撞而發(fā)生一些化學(xué)反應(yīng),它們的作用也不容忽視。

低溫等離子體以其活波的化學(xué)活性見長,所以它的應(yīng)用主要也是以化學(xué)應(yīng)用為主,主要就是應(yīng)用在新型材料的制備和對材料進(jìn)行表面改性方面。而且利用低溫等離子體方面制備材料與傳統(tǒng)化學(xué)方法相比有很多優(yōu)點,以低溫等離子體的干法刻蝕與以往用腐蝕液進(jìn)行的濕法刻蝕相比為例,優(yōu)點有以下幾點。第一,濕法刻蝕產(chǎn)生大量廢液,造成公害,采用氣體的干法刻蝕避免了廢液處理問題,排出廢氣的凈化處理過程也較方便簡單。第二,濕法刻蝕必須在高溫條件下進(jìn)行,而干法刻蝕低溫時就可獲得較高的反應(yīng)速度,主要就是利用低溫等離子體中含有大量的活性基團(tuán)。第三,濕法刻蝕通常是由液體與基板的接觸點開始各相同性地進(jìn)行,而反應(yīng)性離子刻蝕可以沿著離子地入射方向?qū)崿F(xiàn)非各相同性刻蝕。而且低溫等離子體刻蝕特別適用于需要進(jìn)行高精細(xì)加工的期間制作上。而且低溫等離子體的表面改性技術(shù)可以是一些聚合物表面性能(親水性,粘結(jié)性)發(fā)生很大的改觀,是其他化學(xué)方法都無法完成的。

不過在使用低溫等離子體制備新型材料和對材料進(jìn)行表面改性時,必須要有穩(wěn)定的等離子體源及等離子體診斷,它們是與低溫等離子體應(yīng)用不可分割的整體。

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