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等離子清洗機產(chǎn)生的氣體是否對人體有危害?

文章出處:等離子清洗機廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時間:2022-06-01
等離子清洗機通過等離子體產(chǎn)生的離子通過離子轟擊材料實現(xiàn)物理和化學(xué)反應(yīng),由產(chǎn)生等離子體的氣體和氣體組合的不同,可以在處理表面產(chǎn)生不同的反應(yīng)。

等離子體本質(zhì)是“部分離子化了的氣體”,由電子、離子、活潑自由基、分子四種形態(tài)組成。反應(yīng)氣體處在低的壓力中,在電場的作用下獲得能量,氣體分子離子化,產(chǎn)生輝光放電。離子化氣體分子影響或和進程中的材料分子反應(yīng),打破他們變成較小的分子而且變成揮發(fā)性的氣體,通過真空泵排凈。等離子處理過程是一個物理和化學(xué)相結(jié)合的反應(yīng)。


等離子清洗機產(chǎn)生的氣體是否對人體有危害?


在等離子清洗蝕刻中的反應(yīng)氣體主要有N2,Ar,He,O2,CF4,H2等,等離子體的化學(xué)作用過程,主要是高能正離子和自由基粒子的誘發(fā)反應(yīng)。自由基的高度不穩(wěn)定性使其在化學(xué)作用過程中能迅速實現(xiàn)能量傳遞和激發(fā)官能團的作用,處于激發(fā)狀態(tài)的有機官能團,也具有不穩(wěn)定的高能量狀態(tài),很容易發(fā)生裂解反應(yīng),生成穩(wěn)定的氣態(tài)分子,如水、二氧化碳、二氧化氮,SiF4等,SiF4即四氟化硅,其無色、有毒、有刺激性臭味的氣體,氟化物對人體有害,少量的氟就能引發(fā)一系列的病痛。

以上就是國產(chǎn)等離子清洗機廠家納恩科技整理的關(guān)于等離子清洗機產(chǎn)生的氣體是否對人體有危害的簡單介紹。等離子清洗機產(chǎn)生的氣體對人體有沒有傷害,主要看通入的是反應(yīng)性氣體還是非反應(yīng)性氣體,如果是非反應(yīng)性氣體,那么就不會產(chǎn)生任何危害,如氬氣等。如果是反應(yīng)性氣體,就要看這種反應(yīng)性氣體反應(yīng)后生成的氣體是哪種成分,如果通入的氣體是氧氣和氫氣那么生成的產(chǎn)物就是二氧化碳和水,那么對于人體就沒有任何危害,如果通入的氣體本身是腐蝕性氣體,那么生成的揮發(fā)性氣體也會對人體有一定的危害如CF4等,會產(chǎn)生揮發(fā)性的氟化物,需要注意對生成的尾氣進行處理。不要直接在密閉空間直接排放。

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