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等離子清洗設(shè)備能加高溫嗎?

文章出處:等離子清洗機(jī)廠家 | 深圳納恩科技有限公司| 發(fā)表時(shí)間:2022-09-01
集成電路生產(chǎn)工藝需求,前期芯片制造,后期封裝及混合電路等的可持續(xù)發(fā)展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級(jí)的活化改性,由非極性到帶有一層納米級(jí)的極性材料表層,以提高材料表面物理和化學(xué)的粘接印刷涂覆上漆性能,最貼近生活化的如制鞋業(yè)的工藝生產(chǎn)需求,連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機(jī)物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等;等離子清洗的應(yīng)用例子極為廣泛,而在等離子清洗設(shè)備反應(yīng)腔室的電極載物托盤上進(jìn)行托盤等離子有效區(qū)的整體均勻加熱行程高溫處理環(huán)境,在腔室四周外壁和真空門進(jìn)行水冷,成為了促進(jìn)等離子處理過(guò)程的有效方法。
等離子清洗設(shè)備
溫度是等離子體產(chǎn)生的極重要因素,太陽(yáng)及太陽(yáng)風(fēng)(太陽(yáng)日冕)、熱核聚變就是典型的例子,研究不同溫度下等離子清洗系統(tǒng)內(nèi)等離子的密度活性,處理速度及均勻性,可選擇性地得到適宜的材料處理種類及厚度和處理后表面材料特性,并且不會(huì)對(duì)基材表面產(chǎn)生等離子損傷及熱損傷,這項(xiàng)技術(shù)具有很大的實(shí)用意義。此方面應(yīng)用需求將越來(lái)越大,尤其是持續(xù)發(fā)展與需求的半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。

等離子清洗設(shè)備能加高溫嗎?


等離子清洗設(shè)備可以采用石英加熱管的紅外熱輻射方式提高溫度,其電熱轉(zhuǎn)換效率高,使用壽命長(zhǎng),且電源引線不用暴露于真空腔體及等離子處理區(qū)域內(nèi),以防止加熱方式的過(guò)早疲勞損壞引起不必要的短路等隱患。加熱溫度可設(shè)置為較之前更高一些的溫度,如300℃~400℃,最高耐溫達(dá)800℃攝氏度。

以上關(guān)于等離子清洗設(shè)備能加高溫的資料有國(guó)產(chǎn)等離子清洗機(jī)廠家納恩科技整理編輯,值得注意的是,等離子清洗設(shè)備溫度及工藝參數(shù)設(shè)置要求一般是針對(duì)工件自身要求的,例如工件自身基材及附屬材料的最適宜耐熱溫度及熱損傷,材料的物理化學(xué)性能在等離子氛圍中是否容易被改變及氧化,等離子處理后的材料損傷等。

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